

詳細介紹
喜開理過濾減壓閥分類及參數
通過變更滑鍵的組裝方向,可任意從鎖定型變更為非鎖定型。
可與真空過濾器VFA3000或VFA4000進行模塊化連接。
采用基于噴嘴擋板的先導壓力控制方式。
采用禁油規格•不銹鋼閥體,適合半導體制造裝置或液晶制造裝置使用的清潔空氣、N2的壓力控制。另外,由于緊湊•大流量,因此適合空氣(N2)吹氣。
實施清洗(氣體接觸部分),在潔凈室內進行從組裝到包裝的。
因主閥芯與閥孔配合過緊,或裝配時拉毛閥孔或閥芯,將閥芯卡死在開度位置上,此時可選配合理的間隙。J型減壓閥配合間隙一般為0. 007~0. 015mm,配前可適當研磨閥孔,再配閥芯。
主閥芯短阻尼孔或閥座孔堵塞,失去了自動調節機能,主閥彈簧力將主閥推往開度,變成直通無阻,進口壓力等于出口壓力。可用φ1. Omm鋼絲或用壓縮空氣吹通阻尼孔,并進行清洗再裝配。
帶阻尼孔的阻尼件是壓入主閥芯內的,使用中有可能因過盈量不夠而沖出。沖出后,使進油腔與出油腔壓力相等(無阻尼),而閥芯上下受力面積相等,但出油腔有一彈簧,所以主閥芯總是處于開度的位置,使出口壓力等于入口壓力。此時需重新加工外徑稍大的阻尼件并重新壓入主閥芯。
對邊50mm的緊湊尺寸,并實現了0.8?/min的大流量。
(1次壓力0.7MPa、設定壓力0.5MPa、壓力降0.1MPa時的流量)
無潤滑脂規格、緊湊、省空間型的小型直動減壓閥。
通過使用快插接頭,提高了操作性。適用于要求省空間、精度、無潤滑脂的半導體制造的后工序、IT領域、小物件裝配等。
喜開理過濾減壓閥分類及參數
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