CKD減壓閥結構與分類

可與真空過濾器VFA3000或VFA4000進行模塊化連接。

采用基于噴嘴擋板的先導壓力控制方式。

采用禁油規格•不銹鋼閥體，適合半導體制造裝置或液晶制造裝置使用的清潔空氣、N2的壓力控制。另外，由于緊湊•大流量，因此適合空氣（N2）吹氣。

實施清洗（氣體接觸部分），在潔凈室內進行從組裝到包裝的。

對邊50mm的緊湊尺寸，并實現了0.8?/min的大流量。

（1次壓力0.7MPa、設定壓力0.5MPa、壓力降0.1MPa時的流量）

減壓閥是通過調節，將進口壓力減至某一需要的出口壓力，并依靠介質本身的能量，使出口壓力自動保持穩定的閥門。從流體力學的觀點看，減壓閥是一個局部阻力可以變化的節流元件，即通過改變節流面積，使流速及流體的動能改變，造成不同的壓力損失，從而達到減壓的目的。然后依靠控制與調節系統的調節，使閥后壓力的波動與彈簧力相平衡，使閥后壓力在一定的誤差范圍內保持恒定。

無潤滑脂規格、緊湊、省空間型的小型直動減壓閥。           

適用于需要細小工件吸附系統或檢查系統等的壓力調整的回路中。緊湊、大流量、真空減壓閥。

同級尺寸（□50×90），同級流量 （200?/min(ANR)）。

通過減壓閥旋鈕的頂部安裝，操作性也得到了提高。設計的自由度也得到了提高。

可單手進行壓力調整，一按即可鎖定。壓力設定時，旋鈕也可輕松手動操作。

擰松面板安裝用螺母后，螺母自身起到千斤頂功能，可輕松拆下旋鈕。安裝到面板時，可使用螺母進行固定。安裝L形支撐件時也同樣可以。

尺寸統一，選擇項、產品種類豐富，系統構成應對簡便。

通過變更滑鍵的組裝方向，可任意從鎖定型變更為非鎖定型。

CKD減壓閥結構與分類