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詳細介紹
OMRON傳感器產品示意圖
*的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架
光源(發光波長) 紅色發光二極管 (650nm)
負載電流:50mA以下(殘留電壓1V以下)
按時間規格1秒使用時,為各標準值±10ms。
檢測物體 晶圓片托架(透明物體、不透明物體)
動作指示燈 物體檢測時亮燈(橙色)
殘留電壓:0.8V以下(負載電流100mA時)
響應時間 zui高速模式:動作、復位各135μs、高
速模式:動作、復位各250μs、
標準模式:動作、復位各1ms
環境溫度范圍 工作時:連接1~2臺時:-25~+55℃
連接3~10臺時:-25~+50℃、
連接11~16臺時:-25~+45℃
保存時:-30~+70℃ (無結冰、結露)
環境度范圍 工作時、保存時:各35~85%RH (無結露)
zui小檢測物體 0.15mm立方體(不透明體)
通過與導槽并用的方式設定落座位置
與晶圓片托架的接觸面使用了
耐化學藥品性強的氟素樹脂
電源電壓 DC12~24V ± 10% 波紋(p-p) 10%以下
功耗 960mW以下(電源電壓24V時
消耗電流40mA以下) 控制輸出 集電極開路輸出型
以轉速130rpm用不銹鋼刷進行耐磨損性測試的結果,樹脂檢測頭在50分鐘時發生絕緣破壞,而金屬檢測頭即使400分鐘后也未發生絕緣破壞。
E2E NEXT系列憑借長距離穩定檢測技術“熱敏遠距離控制"和模擬數字混合IC,解決了增大接近傳感器檢測距離時的課題——溫度變化產生的影響以及傳感器的個體差異。
對模擬數字混合IC“PROX2"執行“出廠時寫入溫度補償值",將溫度變化對檢測距離的影響控制在較小,這是以往的模擬IC 無法實現的。
OMRON傳感器產品示意圖
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