CKD空氣干燥器結構及用途
只需1臺即可實現從低真空高真空的寬域控制
馬達緣等A類馬達耐電壓AC550V　1分鐘
馬達緣電阻10MΩ以上　DC500使用環(huán)境溫度0～40°C
zui大輸出轉矩N•m 1.2 3.0連續(xù)輸出轉矩N•m 0.4 1.0
zui高旋轉速度rpm 240　(注1)允許軸負載N 600
允許力矩負載N•m 5輸出軸慣性力矩kg•m2 0.00034 0.00059
允許負荷慣性力矩kg•m2 0.034 0.059分度精度(注2) 秒±90
重復精度(注2) 秒±10軸摩擦轉矩N•m 0.13 0.2辨率P/rev 540672
保存環(huán)境濕度20～90%RH 無結環(huán)境無腐蝕性氣體，無爆炸性氣體，無粉塵
kg 1.2 1.8輸出軸端面跳動(注2) mm 0.0防護等IP20
注1 ：在連續(xù)旋轉運行時，請以不超過80rpm的速度使用。

CKD空氣干燥器結構及用途

轉角度、移動時間和計時器間等。·可速排氣：有效避免揚
概要用實例速切斷、排氣控制自如·不需另配切斷用真空閥，實現裝置的小型化
程序編號選擇輸入（比特0） 正電平觸發(fā)程序編號選擇輸入（比特1） 正電平觸發(fā)
程序編號選擇輸入（比特2） 正電平觸發(fā)程序編號選擇輸入（比特3） 正電平觸發(fā)
程序編號設置輸入2位邊沿觸連續(xù)旋轉停止輸入正邊沿觸發(fā)
響應輸入/位置偏差計數清除輸入正邊沿觸發(fā)緊急停止輸入負電平觸車解除輸入正電平觸發(fā)
本品是在半導體生產線中，為控制真空室內的真空壓力驅動器可通用使用。
具備了控制器功能，可以通過NC程序來自由設置馬達的旋起閥室內的顆粒